崔书平团队对项目研发成果进行专利申请

崔书平团队对项目研发成果进行专利申请。算法方面针对传统模板图待测图差分检测晶圆缺陷方法无法准确提取晶圆低对比度纹理缺陷的晶圆缺陷检测问题，提出了晶圆低对比度纹理缺陷检测算法，该算法基于可分离卷积纹理提取技术，实现晶圆模板图待测图对比偏低情况下纹理缺陷的准确检出。在软件层面，针对卷积中边界条件分支导致的SIMD（单指令多数据）效率低下问题，提出一种权重重分布的无分支向量化算法。该技术通过预计算权重，统一了边界与内部计算流程，彻底消除了条件判断。实测在4096×4096图像可分离卷积任务中，在酷睿i9与i5平台分别实现了44.11%与34.40%的性能提升。